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电子束系统新闻

国际原子能机构推出新型可运输电子束系统

国际原子能机构9月16日推出一种装在集装箱内的新型可运输电子束系统,该系统可借出用于培训或实验。这个集装箱内装有原子能机构新型可运输电子束系统。它将用于开展液态、气态和固态材料处理的研发活动,并为来自世界各地的研究员提供培训。(图片:原子能机构)在国际原子能机构大会期间举行的该系统启用仪式上,总干事拉斐尔·马里亚诺·格罗西表示:这套电子束系统是我们突破辐射应用障碍的创新方法基石。因其可运输,我们能更好地协助成员国... 2025-09-17

《科技》应材推7项新技术 助晶圆制程微缩

应材也展示PROVision电子束(eBeam)量测技术,可穿透晶片的多层结构,准确量测整个晶圆的EUV图案线宽,帮助客户解决边缘放置(edge placement)错误。应材指出,去年电子束系统营收成长达近一倍,已成为电子束技术最大供应商。 2022-04-26