真空紫外光源新闻

俄罗斯专家研发新型极真空紫外光源方案

6月19日消息，俄罗斯科学院西伯利亚分校布德克尔核物理研究所(INP SB RAS)的专家与俄罗斯科学院加波诺夫 - 格列霍夫应用物理研究所联邦研究中心(IAP RAS)的同事正共同研发一种用于制造明亮稳定的极真空紫外(VUV)光源的方案。这种光源是现代家用光刻机制造下一代微电路所必需的。当前，光刻技术广泛应用于微电子器件生产，可在硅片表面形成尺寸达数纳米的微结构。微电路尺寸缩小趋势对相应技术提出要求，研制超强真空紫外(VUV)辐射源至关重... 2025-06-22