按分光方式分类，XRF可分为波长色散型X射线荧光光谱仪(以下简称WD-XRF)和能量色散型X射线荧光光谱仪(以下简称ED-XRF)。1948年由H.费里德曼(H.Friedmann)和L.S.伯克斯(L.S.Birks)制成世界上第一台WD-XRF，其工作原理为特征X射线经晶体分光再由探测器检测，探测器只需检测特征谱线的光子数。世界上第一台ED-XRF于1969年问世，其工作原理为特征X射线(荧光)直接进入半导体探测器并由多道脉冲分析器进行分析，分光和计数两部分工作同时进行。
ED-XRF仪器结构较为简单，而WD-XRF较为复杂。就定性分析而言，当样品中需要快速定性或半定量分析多个元素或未知样品时，ED-XRF较为方便;当样品中所分析元素含量较低时，WD-XRF更适合。另外，对形状不规则或易受放射性损伤的样品，如液体(易挥发)，有机物(可能发生辐射分解)，工艺品(可能发生褪色)等，以及动态系统，如在催化，腐蚀，老化，磨损，改性和能量转换等与表面化学过程有关的研究，采用ED-XRF分析更加有利。 同为X射线荧光光谱仪的兄弟俩：波长色散型(WD-XRF)和能量色散型(ED-XRF)，你搞混了吗?搞混了也不要怕，仪器信息网与国家地质实验测试中心联合举办的"X射线荧光分析技术与应用新进展2021”网络研讨会将于9月8日举行。
