热点关注:  
放射性同位素 粒子加速器 辐照杀菌 无损检测 高新核材 辐射成像 放射诊疗 辐射育种 食品辐照保鲜 废水辐照 X射线 中广核技 中国同辐

直击网传光刻机工厂“真相”,中国电子院:系北京高能同步辐射光源

2023-09-19 11:52     来源:集微网     高能同步辐射光源北京同步辐射
中国电子工程设计院有限公司(简称“中国电子院”)发文,针对近期传出的“清华大学EUV项目把ASML的光刻机巨大化,实现了光刻机国产化,并已在雄安新区落地”消息,指出该项目并非国产光刻机工厂,而是北京高能同步辐射光源项目(HEPS)。

中国电子院消息显示,HEPS坐落于北京怀柔雁栖湖畔,是国家“十三五”重大科技基础设施,它是我国第一台高能量同步辐射光源,也是世界上亮度最高的第四代同步辐射光源之一,早在2019年就开始建设,并将于2025年底投入使用。

HEPS的作用是通过加速器将电子束加速到6GeV,然后注入周长1360米的储存环,用接近光速的速度保持运转,电子束在储存环的不同位置通过弯转磁铁或者各种插入件时就会沿着偏转轨道切线的方向释放出稳定、高能量、高亮度的光,也就是同步辐射光。简言之,HEPS可以看成是一个超精密、超高速、具有强大穿透力的巨型X光机,它产生的小光束可以穿透物质、深入内部进行立体扫描,从分子、原子的尺度多维度地观察微观世界,HEPS是进行科学实验的大科学装置,并不是网传的光刻机工厂。

据悉,该项目由全国勘察设计大师、国投集团首席科学家娄宇带队,中国电子院多个技术科研和设计团队协同合作,攻克项目不均匀沉降、微振动控制、超长结构设计、光伏板设计、精密温度控制、工艺循环冷却水系统、超复杂工艺系统等技术难题。目前高能同步辐射光源配套工程已全面完工。


推荐阅读

2023年CSNS靶站谱仪运行年会召开

分组会后,李琳、陈宇、王光、张宏民分别就“CSNS用户情况”、“CSNS靶站谱仪大厅技术安全管理”、“CSNS用户实验室规划建设和管理方案”、“生物研究平台建设”作大会报告,各报告充分体现出了散裂中子源这个大科学装置在改善用户服务、保障安全可靠运行、改善实验条件方面开展的大量工作。 2023-09-20

2023年高能物理研究所加速器装置联合年会(暨BEPC第二十八届年会、CSNS第六届年会)召开

加速器中心于程辉、实验物理中心董明义、多学科中心李晓东、东莞研究部加速器技术部张玉亮、中子科学部梁天骄分别围绕“BEPCII 2022-2023年度运行总结”、“BESIII运行情况与主要成果”、“北京同步辐射装置运行报告”、“CSNS加速器2022-2023年度运行总结”和 “CSNS靶站、谱仪开放运行”等主题进行交流报告。合肥同步辐射国家实验室、兰州重离子加速器国家实验室和上海同步辐射光源的代表先后详细介绍了装置年度运行情况以及调束和改进方面经验。 2023-09-08

北京同步辐射装置2023年用户学术年会暨专家会圆满召开

他希望在今后的工作中,要认真总结BSRF近年来运行开放的经验,交流用户研究的成果,不仅要提高成果产出,更重要的是积极面对国家发展需求,主动为国家解决遇到的瓶颈问题,实现高水平科技自立自强。高能所副所长、高能同步辐射光源(HEPS)常务副指挥董宇辉研究员和内蒙古大学人才办主任谷晓俊教授也分别致词,对大家的到来表示热烈的欢迎。 2023-09-04

发挥大装置优势 走向国际前沿 | 科技创新再出发

2016年,在北京市发展改革委和中国科学院联合支持下,作为怀柔科学城首批高水平交叉研究平台之一,先进光源技术研发与测试平台启动建设,研发环境与条件进一步改善。长期以来,高能所一直与国内顶尖团队密切合作,发挥建制化优势,全面、系统、持续地开展X射线光学、探测等核心技术研发,取得了一项又一项重要成果。 2023-08-11

HEPS高温假里调束忙

高温假期间,国家重大科技基础设施高能同步辐射光源(HEPS)增强器调束人员继续在现场加班奋战,为HEPS项目进度推进贡献力量。 2023-08-08

阅读排行榜